廠牌/型號：JEOL/JXA-8500F

儀器簡介：電子微探儀(EPMA) 電子微探儀利用電子束對試片中微小區域內激發X射線，可得知樣本中微區域的化學組成，可對無機材料、礦物進行微區域的化學成分定量分析。 

對外服務之分析項目：1.化學成份定量分析(WDS: Be～U)。2.X-ray元素分佈圖(X-ray mapping)。3.線分析 (Line scan)。

廠牌/型號：JEOL/JSM-7100F

儀器簡介：掃描式電子顯微鏡(SEM)其成像原理是利用電子束掃描試片的表面，接收表面產生之訊號(包括二次電子(SEI)、背向反射電子(BEI)、陰極發光(CL)、X射線等)以呈現樣本的顯微結構，其長景深對於物體表面之提供了微結構的真實性，加裝X射線能量散譜儀(EDS )及背向散射電子繞射(EBSD)，可對樣本進行微區元素定性分析及材料晶體和在空間中的幾何方向。

對外服務之分析項目：

1.化學成份定性分析(EDS : B～U)。2.二次電子影像 (Scanning Electron Image)。3.背向散射電子影像(Backscattering Electron Image)。4.陰極射線發光(CathodoLuminescence)。5.背向散射電子繞射(Electron Back Scatter Diffraction)。

廠牌/型號：Oxford/Xmet-7500

儀器簡介：X光螢光分析儀是利用高能量X射線轟擊樣品表面激發出螢光，利用此螢光作為元素定性定量分析的方法，可攜式X光螢光分析儀具有手持的便利優勢，可於各種現場對未知樣本進行非破壞分析。可對於粉末、岩石、礦物，合金等無機材料進行化學成份的分析。

對外服務之分析項目：

化學成份定性分析(EDS: Mg～U)。

廠牌/型號：JEOL/JXA-8900

儀器簡介：電子微探儀(EPMA) 電子微探儀利用電子束對試片中微小區域內激發X射線，可得知樣本中微區域的化學組成，可對無機材料、礦物進行微區域的化學成分定量分析。

對外服務之分析項目：1.化學成份定量分析(Be～U)。2.X-ray元素分佈圖(X-ray mapping)。3.線分析 (Line scan)。

廠牌/型號：JEOL/JSM-6360LV

儀器簡介：掃描式電子顯微鏡(SEM)其成像原理是利用電子束掃描試片的表面，接收表面產生之訊號(包括二次電子(SEI)、背向散射電子(BEI)、陰極發光(CL)、X射線等)以呈現樣本的顯微結構，其長景深對於物體表面之提供了微結構的真實性，加裝X射線能量散譜儀(EDS)可對樣本進行微區元素定性分析。

對外服務之分析項目：1.化學成份定性分析(EDS : B～U)2.二次電子影像 (Scanning Electron Image)3.背向散射電子影像(Backscattering Electron Image)4.陰極射線發光(CathodoLuminescence)